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泰克6430亞FA程控源表

產品簡介

泰克6430亞FA程控源表
適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計
適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計
從三個敏感選項中選擇，實現精確的高阻抗和低電流測量。5&amp;amp;#189; 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 &amp;amp;gt;200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電

產品型號：6430

更新時間：2025-07-04

廠商性質：代理商

訪問量：1233

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萬用表&功率計&測溫儀

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品牌	TeKtronix/美國泰克	產地類別	進口
應用領域	電子/電池

泰克6430亞FA程控源表

6430亞fA程控源表集合了吉時利源表和源測量單元（SMU）產品的電壓源和電流源及測量功能，比靜電計靈敏度更高，噪聲更低，輸入阻抗更高。這種*的性能是通過6430遠端前置放大器實現的，它提供非常靈敏的雙向放大器，用于測量或產生被測試器件的電流。遠端前置放大器輸出的高電平信號通過一條2米長的線纜發送到控制主機上。這使得用戶可以直接，或者近距離連接該信號，減少線纜噪聲的影響。

主要特點:

0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
遠端前置放大器可以位于信號源處以減少線纜噪聲
電壓測量的輸入阻抗>1016Ω
高速——達2000讀數/秒
分辨率達6位半
快速元件特性分析，帶可編程數字I/O和接口

6430按照靜電計無法達到的速度測量電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測量讀數，讀入內部存儲器中。可以測量快速小電流，100nA量程可響應短至5ms的信號，較大量程可響應幾百微秒的信號。

6430的*特點包括其優秀的低電流靈敏度和遠端前置放大器，這通過避免長輸入線纜發揮了靈敏度的作用。遠端前置放大器是6430反饋測量系統的主要部分，雖然通過長達2米，帶載高電平信號的連接線纜它能離開主機一段距離但是它不能獨立于測量主機工作。

應用

6430的功能使其同樣適于在測試實驗室的研究工作和復雜元件的評估，結合其它源測量儀器或SMU用于在較高電平上進行低電流、高電阻或高靈敏度的半導體測量。6430的低噪聲和漂移性能也非常適合高阻性納米線和其它高阻納米材料的研究。

高速數據處理

6430能以超過2000個讀數/秒的速度讀至其內存緩沖器。IEEE-488總線輸出能每秒發送達75個源/測量讀數至外部計算機控制器，包括通過/失效指示。

6430能提供達2.2W的4象限源，以及低至亞fA和微伏電平的測量靈敏度。在高達20V，它能測量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流。可提供200mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程設置定義了源或阱電壓或電流的大值。

典型應用：

半導體測量

基于FET元件中的柵極漏電或溝道漏電會在 MOSFET、FET、模擬開關和許多其它電路中產生誤差。通過允許研究人員測量極低電平的電流和電壓，6430能幫助他們了解這些元件的設計局限以及研究替代器件的結構或材料。

測量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有的優秀低電流測量能力（<0.4fA峰峰值）使其對于單電子晶體管（SET）和量子點研究非常有用。使用類似于鎖定的技術，6430能以1aA靈敏度測量電流（10–18A=6電子/秒）。

測量行業的低噪聲和漂移

下圖的數據表明6430在5小時期間內穩定性非常突出，而且短期的低噪聲性能優秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時間在1pA量程上實現微弱信號采集。插圖中的細節是濾波信號的截圖，顯示了6430型在開始的100秒期間的低噪聲性能（僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實驗室環境下提取數據，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護罩。

泰克6430亞FA程控源表

濃縮的測量指標1

電壓測量準確度（4線感測）3

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。附加的測量指標

附加的測量指標

輸出建立時間（典型值為終值的10%）：<2s，1pA和10pA量程；<50ms，100pA 至10nA量程；<5ms，100nA至100mA量程。
電流噪聲：在1分鐘間隔觀察時，90%的間隔中峰峰值噪聲在400aA以內，在使用Autofilter（5s 10% -90%的上升時間），使用三同軸連接器防護罩，Autozero OFF、Source Delay=0，使用1pA量程至少3分鐘的條件下。

電流測量準確度（2線或4線感測）4

溫度系數（0°C-18°C & 28°C-40°C）：±[（0.15×規定的準確度）+1fA]/°C。
輸入電流：<3fA@23°C，<40%相對濕度；通常為±0.5fA/°C在23°C左右，<40% 相對濕度。

電阻測量準確度（4線感測帶遠端前置放大器）

輸出電流模式，自動電阻

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
輸出電流模式，手動電阻：不確定度總和=電流輸出準確度+電壓測量準確度（四線測量）。
輸出電壓模式：不確定度總和=電壓輸出準確度+電流測量準確度（四線測量）。
6線電阻模式：可使用有源電阻防護和防護檢測（僅主機后面板）。防護輸出電流大值：50mA。準確度取決于負載。查閱手冊獲取計算公式。
主機防護輸出電阻：0.1Ω，電阻模式。

注解：

1.速度=10PLC，Autofilter ON，正確歸零和穩定。
2.輸出電流模式，I=0。
3.電壓測量準確度不受遠端前置放大器的影響。
4.電流測量準確度不受遠端前置放大器影響；然而，1pA~100nA量程僅當使用前置放大器時可用。
5.四線模式。
6.僅手動電阻模式。
7.激活源回讀，失調補償開。源時延必須設置為使源*穩定才能讀數。

濃縮的系統速度

測量1

量程變化速度的大值：75/s。
單讀數工作模式的讀速度（讀數/秒），在60Hz（50Hz）條件下：

濃縮的源指標4

電壓設置準確度（4線感測）5

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±21V@±105mA，±210V@±10.5mA。
電壓調整率：線路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%+100μV。
噪聲10Hz~1MHz（峰峰值）：10mV。
過壓保護：用戶可選擇，5%公差。工廠缺省為None。
電流鉗制：雙極性電流極限（容限）設為一個值。量程的0.1%（小值）。

電流設置準確度（帶遠端前置放大器）

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±10.5mA@±210V，±105mA@±21V。
電流調整率：線路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%+1fA。
電壓極限：雙極性電壓極限（容限）設為一個值。量程的0.1%（小值）。

注解：

1.讀數速率可用于電壓或電流測量。關閉自穩零，關閉自動量程，關閉濾波器，關閉顯示，觸發延時=0，源自動清空，并且采用二進制讀數格式。
2.采用上限和數學下限進行通過/失效測試。
3.包含測量之前重新設置源至新電平的時間。
4.對于阱模式，1pA~100mA量程，準確度是±(0.15%+偏移*4)。
5.電壓源準確度不受遠端前置放大器的影響。

綜合說明

負載阻抗：穩定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量程，以及100pF在nA和pA量程。查閱用戶手冊獲取大電容性負載測量的詳細說明。
共模電壓：±42VDC大值。
共模隔離：>109Ω，<1000pF。
過量程：量程的105%，源和測量。
輸入/輸出與測量端子之間的大壓降：5V。（為滿足規定的準確度用4線測量，請參閱用戶手冊。）
測試線電阻大值：10Ω，對于額定準確度。
測試輸入電阻：1MΩ。
主機防護偏置電壓：300μV，典型值。
前置放大器防護偏置電壓：1mV典型值。
前置放大器防護輸出電阻：110kΩ。
源輸出模式：固定直流電平，內存列表（混合功能），階梯波掃描（線性和對數）。
源內存列表：100點（大值）。
內存緩沖區：5,000個讀數/秒@5位半（2個2,500點緩沖區）。包括所選的測量值和時間戳。鋰電池備份（電池壽命超過3年）。
數字接口：
安全互鎖：有源低電平輸入：
處理程序接口：測試開始，測試結束，3類比特。+5V@300mA電源。
數字I/O：1觸發輸入、4 TTL/繼電器驅動輸出（33V@500mA阱、二極管鉗位）。
可編程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5種用戶定義的上電狀態加上出廠缺省設置和*RST。
電源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上電時自動檢測），100VA大值。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，FCC第15部分Class B。
安全性：符合歐盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振動：MIL-PRF-28800F，Class 3。
預熱時間：1小時達到額定準確度。
規格：89mm高×213mm寬×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。
測試臺尺寸配置（帶手柄和支腳）：104mm高×238mm寬×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。
放大器：20mm高×57mm寬×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。
重量：5.9公斤（13磅）。
工作環境：工作條件：0°~40°C，60%相對濕度（不凝結）至35°C。在 35°~40°C范圍內，相對濕度降低5%/°C。存儲條件：–25°C~65°C，不凝結的濕度。